µð¿£¿¡ÇÁ, ¹ÝµµÃ¼ ALD ±â¼úµ¿Çâ ¼¼¹Ì³ª °³ÃÖ
(ÁÖ)µð¿£¿¡ÇÁ´Â 21ÀÏ ¿ÜºÎ°»ç¸¦ ÃÊûÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ALD ±â¼úµ¿Çâ ¼¼¹Ì³ª¸¦ °¡Á³´Ù. ÃÊû°»ç´Â ¼¼Á¾´ëÇб³ ½Å¼ÒÀç°øÇкΠÀÌ¿øÁØ ±³¼ö·Î LG¹ÝµµÃ¼ Áß¾Ó¿¬±¸¼Ò, Çö´ëÀüÀÚ ¸Þ¸ð¸® ¿¬±¸¼Ò, ¼¼Á¾´ëÇб³ µî¿¡¼ÀÇ ½Ç¹« ¹× ¿¬±¸ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ALD ±â¼úÀ» ºñ·Ô ÇöÀç °¡Àå À¯¿ëÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â CVD ±â¼úµ¿Çâ±îÁö µÎ·ç ¼³¸íÇϸç ÇâÈÄ Àç·á¾÷ü°¡ ³ª¾Æ°¥ ¹æÇâ¿¡ ´ëÇØ Á¦½ÃÇß´Ù.