Barrier Metal(È®»ê¹æÁö¸·Àç·á)Àº Metallization Çü¼º ½Ã, Metal Ion ¶Ç´Â »ê¼Ò, ¼öºÐ µîÀÌ Ãþ°£ Àý¿¬¸·À¸·Î È®»êµÊÀ¸·Î ÀÎÇØ Àý¿¬¸·ÀÌ ¿À¿°µÇ´Â °ÍÀ» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ Àç·áÀÔ´Ï´Ù. Al°ú Cu°°Àº Metallization MetalÀº ÁÖÀ§ Àý¿¬¸·°ú ½±°Ô ¹ÝÀÀÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» ¶³¾î¶ß¸®´Â ÁÖ¿ä ¿øÀÎÀÌ µÇ±â ¶§¹®¿¡ ¹Ì¼¼È µÉ¼ö·Ï È®»ê¹æÁö¸·ÀÇ »ç¿ëÀÌ Á¡Á¡ Áß¿äÇØÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. È®»ê¹æÁö¸·Àº Àü±â¸¦ ÅëÇÏ¸é¼ È®»ê¹æÁö ¼º°ÝÀ» °¡Á®¾ß ÇϹǷΠTi(N), Ta(N), Ru µîÀ» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.