Electrode MaterialÀº ¸Þ¸ð¸®¼ÒÀÚ¿¡¼ ÀüÀÚ¸¦ º¸°üÇÏ´Â CapacitorÀÇ Àü±Ø¹°Áú·Î½á Contact ÀúÇ×ÀÌ ³·À¸¸é¼ ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î Æ°Æ°ÇÑ ¹°ÁúÀÌ ¿ä±¸µË´Ï´Ù. ÃÖ±Ù±îÁö´Â TiNÀÌ Bottom Electrode·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸³ª ¼±ÆøÀÇ ¹Ì¼¼È·Î Ru ¹× Nb ¹°ÁúÀÌ ¿¬±¸ µÇ°íÀÖ½À´Ï´Ù.